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詳情內(nèi)容/ CONTENT DETAILS

磷烷

產(chǎn)品分類： 電子氣體

磷烷 純度：99.9997%

 中文名:磷烷

 中文別名:磷化氫

 英文名:phosphine

 英文別名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;

phosphorus hydride; Phosphorus trihydride

 CAS 注冊號：7803-51-2

 分子量：34.0

 分 子 式：PH3 

 分 子 量：34.04   

 毒 性：劇毒

 摩爾質(zhì)量：146.05

 CAS 登錄號：2551-62-4 

 外觀與性狀：無色氣體，有蒜臭味

 性質(zhì)：無色，劇毒，易燃燒氣體，帶有令人生厭的大蒜味。應(yīng)用于多種化學(xué)反應(yīng)中

在電子氣家族中，硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應(yīng)用量較大，是IC制造極為重要的原料。

其中的磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源，同時 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。