磷烷
在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應(yīng)用量較大,是IC制造極為重要的原料。 其中的磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時(shí) 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。
產(chǎn)品詳情
詳情內(nèi)容/ CONTENT DETAILS
產(chǎn)品分類(lèi): 電子氣體
磷烷 純度:99.9997%
中文名:磷烷
中文別名:磷化氫
英文名:phosphine
英文別名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;
phosphorus hydride; Phosphorus trihydride
CAS 注冊(cè)號(hào):7803-51-2
分子量:34.0
分 子 式:PH3
分 子 量:34.04
毒 性:劇毒
摩爾質(zhì)量:146.05
CAS 登錄號(hào):2551-62-4
外觀與性狀:無(wú)色氣體,有蒜臭味
性質(zhì):無(wú)色,劇毒,易燃燒氣體,帶有令人生厭的大蒜味。應(yīng)用于多種化學(xué)反應(yīng)中
在電子氣家族中,硅烷、磷烷、硼烷、砷烷應(yīng)用量較大,是IC制造極為重要的原料。
其中的磷烷是半導(dǎo)體器件制造中的重要 N型摻雜源,同時(shí) 磷烷還用于多晶硅化學(xué)氣相沉淀、外延 Ga P材料、離子注人工藝、MO C V D工藝、磷硅玻璃(PSG)鈍化膜制備等工藝中。